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INFICON SKY CDG025D电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空机，在苛刻的生产环境中具有稳定的性能，数字电子学提高真空计的性能和易于使用的特点，如一键调零功能和设点调整，抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有卓越的零点稳定性与预期数百万次压强周期包括大气冲击的长使用寿命。传感器屏敝保护真空计防止过程污染。坚固耐用的机械结构和数字电子学加强了EMC兼容性，长期稳定性和温度补偿性。CDG025D真空计为从电源接通后的快速稳定与暴露大气压后快速恢复等特性设定了新的标准。
优 点
◆ 全刻度范围从100毫乇…1000乇
◆ 电源接通后的快速稳定性
◆ 暴露大气压后的快速恢复性
◆ 抗腐蚀性陶瓷传感监测器
◆ 卓越的长期讯号稳定性
◆ 温度补偿
◆ 保护传感器防止污染
◆ 一键调零功能
◆ 宽范围电源
◆ 2个设点（选项）
◆ RS232接口（选项）
用 途
要求高的应用条件下，精确而快速的压强测量:
◆ 用于刻蚀，CVD, PVD, ALD半导体制造设备
◆ 资料贮存和显示器制造设备
◆ 工业真空设备
◆ 常用高精度真空测量
订 货 资 料
CDG025D，温度补偿型
全刻度范围 法兰型式
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Torr
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Pascal
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Mbar
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1/2”tube
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DN 16 ISO-KF
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DN 16 CF-R
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8 VCR
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1000
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133322
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1333
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375-000
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375-001
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375-002
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375-003
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100
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13332
|
133
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376-000
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376-001
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376-002
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376-003
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10
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1333
|
13.3
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377-000
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377-001
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377-002
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377-003
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1
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13.3
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0.13
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378-000
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378-001
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378-002
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378-003
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0.1
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13.3
|
0.13
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379-000
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379-001
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379-002
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379-003
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CDG025D, 温度补偿型，带2个设点和RS232接口
全刻度范围 法兰型式
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Torr
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Pascal
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Mbar
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1/2”tube
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DN 16 ISO-KF
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DN 16 CF-R
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8 VCR
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1000
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133322
|
1333
|
375-300
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375-301
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375-302
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375-303
|
|
-
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110000
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1100
|
375-500
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375-501
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375-502
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375-503
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200
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26664
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267
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382-300
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382-301
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-
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-
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100
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13332
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133
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376-300
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376-301
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376-302
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376-303
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-
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10000
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100
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376-500
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376-501
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376-502
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376-503
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20
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2666
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26.7
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-
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-
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-
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-
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10
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1333
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13.3
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377-300
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377-301
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377-302
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377-303
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-
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1000
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10
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377-500
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377-501
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377-502
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377-503
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1
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133
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1.3
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378-300
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378-301
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378-302
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378-303
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-
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100
|
1
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378-500
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378-501
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378-502
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378-503
|
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0.25
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33.3
|
0.33
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385-300
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385-301
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385-302
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385-303
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0.1
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13.3
|
0.13
|
379-300
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379-301
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379-302
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379-303
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-
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10
|
0.1
|
319-500
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379-501
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379-502
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379-503
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