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HORIBA质量流量控制器

SEC-8000 高温质量流量控制器

产品分类：HORIBA质量流量控制器

产品介绍

概要

质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量，但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响，如需精确测量，需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量，是利用测量气体的质量，而质量是不受外界的环境的影响，从而可以提供高精度流量检测和控制，且在半导体制造制程有广泛的使用。

特征

它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。

适用于高温：可满足150℃烘焙
产品阵容中有可满足使用温度的产品型号
超清洁类型：接气部全不锈钢构造
最适于MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制

規格

SEC-8340SL 搭载有主体加温加热器

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：80〜100℃

SEC-8340SM 本体加温ヒータ搭載

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：100〜120℃

SEC-8440LSL

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：15〜35℃

SEC-8450LSL

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	10/20 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：15〜35℃

SEC-8455LSL

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	30/50 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：15〜35℃

SEC-8460LSL

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	50/100 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：15〜35℃

SEC-8440LSM

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：35〜60℃

SEC-8450LSM

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	10/20 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：35〜60℃

SEC-8455LSM

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	30/50 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：35〜60℃

SEC-8460LSM

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	50/100 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：35〜60℃

SEC-8440LSH

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：60〜80℃

SEC-8450LSH

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	10/20 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：60〜80℃

SEC-8455LSH

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	30/50 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：60〜80℃

SEC-8460LSH

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	50/100 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：60〜80℃

SEC-8440SL

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：80〜100℃

SEC-8450SL

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	3/5/10 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：80〜100℃

SEC-8455SL

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	10/20 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：80〜100℃

SEC-8460SL

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	20/30/50 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：80〜100℃

SEC-8440SM

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：100〜120℃

SEC-8450SM

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	3/5/10 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：100〜120℃

SEC-8455SM

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	10/20 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：100〜120℃

SEC-8460SM

气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	20/30/50 SLM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：100〜120℃

SEC-E40质量流量控制器

SEC-E400J质量流量控制器

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